像素3648
像素尺寸8μm
光栅焦距500mm
刻线2700 条 /mm
谱线范围130-640nm
分辨率优于 0.01nm
从定量分析的观点来考虑,对光源的要求如下:
1.分析灵敏度高,并能分析痕量、微量元素分析,灵敏度可达ppm或ppb数量级。
2.浓度灵敏度高,即当分析元素含量C有小的变化时,相应的分析线强度2变化要大,即dI/dc要大。
3.在激发过程中,光源应有良好的稳定性和再现性,这是保证分析准确度的基本要求。
4.基体效应小,试料中基体含量变化时,分析元素的结果不受基体变化的影响。*三元素的影响,组织结构的影响,试样形状和质量的影响要小。
5.予燃时间,曝光时间(积分)要短,可提高分析效率和分析速度。
通常来说,光谱仪有三个重要组成部分:狭缝(Slit)、色散元件(Dispersive element)、器(Detector)。在光谱仪性能评价中,重要的评价指标之一便是色散能力(Dispersive power)。
简单而言,就是色散元件能够把复色光分散到多宽的范围上,光被分散地越宽,光谱仪的分辨率自然越好。
可以看到,焦平面越远,刻线越密,色散能力越强,后者受到光栅制作工艺限制,传统的光谱仪往往在上下功夫,这也是光谱仪做的比较大的原因。
然而,值得注意的是,你把光谱仪的分辨能力提得越高,虽然波长相近的光能够被区分地更好,但其代价就是一定长度的detector上所能展现的光谱范围变小了,所以,当光栅光谱仪发展到一定阶段后,人们发现重要的问题又出现在了器(detector)这一侧。
器
感光元件是直读光谱仪的核心,元器件的好坏关系到精密仪器的精度。直读光谱仪(OES)的核心元件有三种,一种是广泛使用的CCD(电荷耦合)元件;另一种是CMOS(互补金属氧化物半导体)器件,还有一种是PMT光电倍增管。
以上的器件都是光谱仪的核心器件,元件的质量对光谱仪的种类来说很重要。
光谱分析仪器的分析的过程是将被测物质的试样引入光源中,给以外界的能量,使试样蒸发成气态原子,并且使气态原子的外层电子由低能态激发能态,处于高能 态的原子很不稳定要跃迁至基态或低能态,便产生了。由于被分析试样中含有不同的原子就会产生不同波长的,对于所产生经过摄谱仪进行分光就会在 感光板上得到按波长顺序排列的有规则的谱线,通过仪器的观察辨认各种特征波长的谱线存在情况就是光谱定性分析。如果用光谱分析仪器进一步测量就是光谱的定 量分析。
随着使用时间的推移,光室、光学器件会发生非常微小的形变,就是这些微小的形变都会引起光路细微的漂移,从而导致仪器测试精度和准确度的改变,而且这个漂移会随着时间的延迟表现的越来越明显,如果要再次提高仪器的性能就需要人为的调整参数来修正这部分漂移,从而改善光谱仪的性能。
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